케이씨텍, 초박막 액정표시장치 개발
2006.11.14 09:38
수정 : 2014.11.04 19:31기사원문
상압 플라즈마란 기존 진공상태에서 플라즈마를 이용하여 수행하던 표면개질을 상압에서도 표면개질이 가능하도록 한 기술로 향후 TFT-LCD 세정장비에 적용될 예정이다.
케이씨텍이 개발한 상압 플라즈마는 배기를 모듈과 일체화해 세계 최소 크기인 180㎜ 폭 안에 집적함으로써 어떠한 세정기에도 손쉽게 부착 가능하도록 제작됐다. 또 시스템 가동시 발생하는 열을 최소화 냉각수를 전혀 사용하지 않음으로써 복잡한 유틸리티 라인이 단순화됐고 제품 수명도 1년 이상으로 연장됐다.
케이씨텍 이순창 대표이사는 “이 시스템은 TFT-LCD 세정장비에 탑재돼 국내 고객사 8세대 라인에 적용될 예정”이라면서 “플라즈마를 이용한 표면개질에 대한 연구개발을 지속하여 적용분야를 반도체 및 일반 생활 분야 까지 넓혀갈 것”이라고 말했다.
/kkskim@fnnews.com 김기석기자