엘오티베큠, 반도체 CVD(화학기상증착반응기) 공정용 건식진공펌프 계약 2010.06.14 10:47 수정 : 2010.06.14 10:47기사원문 엘오티베큠은 삼성전자와 18억원 규모(최근 매출액 대비 4.75%)의 반도체 CVD(화학기상증착반응기)공정용 건식진공펌프계약을 체결했다고 14일 공시했다. /haeneni@fnnews.com 정인홍기자