테스, 산화막 증착방법에 관한 특허 취득 2011.01.10 11:20 수정 : 2011.01.10 11:20기사원문 테스는 저온 화학기상증착에 의한 산화막 증착 방법에 대한 특허를 취득했다고 10일 공시했다. /seilee@fnnews.com 이세경기자