'자율주행차의 눈' 라이다센서를 실리콘으로 만들었다

[파이낸셜뉴스] 국내 연구진이 자율주행차에 필요한 세가지 눈 중 하나인 라이다를 세계 최초로 값싼 실리콘 반도체로 만들었다. 이 기술이 상용화된다면 라이다 제작비용을 내려 자율주행차의 대중화 시기를 한발 더 앞당길 수 있을 것으로 기대된다.

한국연구재단은 연세대학교 안종현 교수 연구팀과 대구경북과학기술원이재동 교수 연구팀이 장애물 감지용 라이다 센서 기술을 개발했다고 30일 밝혔다.

기존 단파 적외선을 감지할 수 있는 라이다 센서는 모두 인듐갈륨비소(InGaAs)계 화합물 반도체로 만들어 제작비용이 높다.

연구진은 10nm이하의 초박막 실리콘을 제작하고 변형 제어 기술을 통해 실리콘의 전자구조를 변화시켜 라이다 센서를 개발했다.

실리콘 반도체의 전자구조를 변형시키기 위해서는 높은 변형을 가해야만 가능하다. 하지만 실리콘은 단단하여 부서지기 쉬워 변형을 가할 수 없다. 이러한 문제를 극복하기 위해 기존 실리콘 웨이퍼를 식각공정을 통해 10nm이하의 초박막 상태로 만들어 높은 변형 하에서도 부서지지 않도록 유지시켜 단파 적외선을 감지할 수 있는 실리콘 광센서를 제작했다.

연구진은 이 실리콘 광센서가 자율주행차와 다양한 보안장치에 응용될 수 있을 것으로 보고 있다.

안종현 교수는 "이번 결과가 가능성을 확인하는 수준의 기초 연구에 불과하지만 실리콘 라이다 센서가 상업화된다면 국내 자동차, 반도체, 센서 산업에 크게 기여를 할 것"이라고 전망했다.

이번 연구 성과는 국제학술지 사이언스 어드밴시스에 30일 게재됐다.

[e-mail] 김만기 기자