티씨케이, 실리콘 카바이드 기판 및 정전척의 전극 제조방법 특허(종합)
2010.12.10 08:57
수정 : 2010.12.10 08:57기사원문
업체는 이 기술을 고순도 SiC 소재의 반도체용 전극이나 Ring제조에 활용할 예정이다.
티씨케이는 또 정전척의 전극 제조방법에 대한 국내특허도 취득했다고 전했다.
/pio@fnnews.com 박인옥기자