린데일렉트로닉스， LCD 건식 식각공정에서 온사이트 불소로 적용 가능성 인증 획득

독일의 세계적인 가스 및 엔지니어링 전문 회사인 린데그룹의 글로벌 전자 사업부인 린데 일렉트로닉스는 한국디스플레이산업협회(KDIA)로부터 린데 온사이트 불소를 현재 액정표시장치(LCD) 패널의 건식식각 공정에 이용되고 있는 SF6를 대체할 수 있는 수단으로 평가 받았다고 30일 밝혔다.

린데의 온사이트 불소는 이산화탄소 보다 지구 온난화 지수가 2만3900배 큰 온실가스인 SF6의 직접적인 대체 수단으로서 더 높은 생산성과 에너지 효율성, 친환경성을 안정적으로 제공한다.

린데는 한국을 위한 온사이트 불소 개발을 꾸준히 지원해 왔으며, 최근 늘어나는 주문량에 대처하기 위해 한국 인주에 F2 생산 시설을 구축한 바 있다.

KDIA 회원사 측에서 평가한 결과에 따르면, Gen 4.5 크기의 패널에서 실리콘산화물 및 나이트라이드 필름에 대해 린데의 불소를 사용했을 경우 동일한 테이퍼 각을 유지하면서 식각률 및 식각 균일도가 크게 개선됐다.

[e-mail] 양형욱 기자