반도체 공정 진단 광센서 국산화 성공… 매출 200억 전망

[파이낸셜뉴스] 국내 연구진과 기업이 힘을 모아 반도체 제조 장비 상태와 공정 이상 등을 실시간으로 진단할 수 있는 장비의 핵심부품을 국산화 하는데 성공했다. 이번 제품 개발로 해당 기업은 2024년 예상 매출액을 200억원으로 전망했다.

나노종합기술원은 코리아스펙트랄프로덕츠㈜(KSP)와 함께 수입에 의존하던 '반도체 공정 진단 광센서 핵심 부품' 기술자립화에 성공했다고 1일 밝혔다.

광 진단센서는 반도체 제조 공정 중 사용되거나 배출되는 가스에서 나타나는 빛 분석을 통해 제조 장비 상태와 공정 이상 등을 실시간 비접촉식 방법으로 진단할 수 있는 핵심 부품이다.

KSP 관계자는 "개발제품은 지난해 12월에 국내 반도체 생산라인 장비에 설치돼 시험평가 중이며, 올해부터 본격적인 매출발생이 기대된다"고 말했다.

업체측은 올해 28억원을 시작으로 2023년엔 70억원, 2024년엔 200억원의 매출액을 예상하고 있다.

이번에 개발한 제품은 높은 측정 정밀도 특성은 물론, 차세대 반도체의 높은 품질 유지와 수율 확보에 필수적인 첨단분석 기능을 갖췄다고 연구진은 설명했다. 미국 등 해외 수입에 의존하던 반도체 장비용 센서 부품의 국산 대체가 가능해질 전망이다.

반도체 생산기업은 고집적·초미세화 공정이 적용된 반도체 생산을 위해 정밀한 측정 성능과 스마트 공정제어가 가능한 고성능 진단 센서를 요구하고 있다.

반면 이를 개발하고 있는 중소기업은 반도체 생산기업에서 개발제품 테스트 지원을 받을 수 없어, 반도체 기업에서 요구하는 제품사양을 충족하는 제품개발이 불가능했다.

이에 KSP는 반도체 테스트베드 기관인 나노종기원과의 공동 개발을 통해 최종 수요기업 납품을 위한 성능기준을 충족하는 제품 개발에 성공했다.

이조원 원장은 "이번 국산화 성과는 테스트베드를 활용한 반도체 부품 상용화 성공사례로, 향후 반도체 장비·부품 실증평가를 위한 테스트베드 추가 구축 등을 통해 국가 반도체 부품산업 육성에 기여할 계획"이라고 밝혔다.

[e-mail] 김만기 기자