"세계 첫 테라헤르츠로 반도체 검사… 기존 검사기 수백대 대체"

마인즈아이가 테라헤르츠(THz) 기술로 반도체 검사장비 시장에 도전장을 내밀고 있다. 이미 국책과제를 통해 관련 기술을 확보, 국내기업으로선 최초로 테라헤르츠 분광시스템 자체제작 능력을 보유하고 있어 전망도 긍정적이다. 무엇보다 국내 반도체 기업과 초도 수주물량을 확보한 것으로 알려져 성장 기대감을 높이고 있다.

■1대 THz 검사기 2620대 검사기 역할

홍지중 마인즈아이 대표는 최근 기자와 만나 "마인즈아이는 세계 최초로 테라헤르츠 반도체 검사장비 기술을 보유한 기업"이라며 "테라헤르츠를 활용한 검사·측정 장비의 선도기업으로서 세계적 기업으로 성장시킬 수 있도록 하겠다"고 말했다.

테라헤르츠는 1초에 1조(테라·tera)번 진동하는 전자(기)파의 단위다.

1초에 10억번에서 3000억번까지 진동하는 마이크로파와 파장이 길어 공기 투과성이 좋은 적외선 사이의 주파수다. 투과성이 높아 그간 바이오 기술에 적용되는 경우가 많았다. 바이오 분야에서 적용되던 기술을 마인즈아이가 반도체와 접목해 신시장을 열고 있는 셈이다.

마인즈아이가 개발중인 THz 검사기는 기존 검사기 보다 빨라 수백∼수천대의 기능을 대신할 수 있다. 마인즈아이에 따르면 12인치 웨이퍼 기준으로 THz검사기 1대의 1일 검사수량 427개다. 이는 에피웨이퍼 총생산량 대비 필요 검사기 수량을 계산하면 2620대다. 물론 향후 설비화하는 개발까지 완료된 후에 양산화된다고 가정했을 때다.

다만 최근 24억원 규모의 수주를 따낸 것을 감안할 경우 먼 미래가 아니라는 시각이다. 홍 대표는 "THz 초도 설비를 삼성반도체의 1차 벤더인 회사가 하고 있으며 마인즈아이는 테스트 핸들러를 개발해 납품하게 됐다"며 "100도 가까운 열을 가하면서 테스트를 진행하기 때문에 정밀한 기구적 메커니즘과 열전달 특성이 일정하게 유지되도록 해주는 것이 핵심인데 메커니즘 설계 및 열전달해석 등 기계공학적인 기술들이 적절하게 접목됐다"고 설명했다.

이번 설비는 인텔이 새로이 출시하는 인텔 코어 시리즈의 주기억장치(CPU)에 따라 삼성은 이에 맞는 하이스펙의 메모리모듈들을 개발해 생산하게 되며, 이를 최종 단계에서 번인테스트 하기 위한 설비이다.

■내년 코넥스 상장 목표

마인즈아이는 카메라 모듈 검사장비와 LCD 및 반도체 검사장비 제조 전문기업이다. 2016년 국책과제 THz 이미징을 이용한 인라인 반도체 칩·패키지 검사 장비 개발을 수행하며 우수한 기술력을 인정 받았다.

홍 대표는 마인즈아이의 독보적인 THz 기술이 반도체, 디스플레이, 자동차 분야에도 접목이 가능하다고 설명하고 있다.

이는 모두 THz 분광기술을 활용한 것으로 반도체에서는 Si 웨이퍼 측정장치에, 디스플레이는 OLED 침습경로 측정장치, 자동차 분야에선 도장막 측정장치로 활용할 수 있다는 것.

홍 대표는 이들 3개 분야에서 연 290억원의 매출을 올릴 수 있을 것으로 전망했다.

마인즈아이는 독보적인 THz 기술을 이용해 넥스트아이와의 협업관계를 확대해 내년 코넥스 상장에도 도전을 계획중이다.

코스닥 상장사인 넥스트아이는 지난 2018년 1월 마인즈아이의 지분 51%를 취득해 최대주주가 됐다.

홍 대표는 "향후 사업화 단계에서 넥스트아이의 조직력이 가미돼 신속한 대응과 양산속도를 높일 수 있을 것으로 기대되며 중국시장 진출시 영업력이 크게 기대된다"며 "상장을 통해 세계적인 기업으로 성장시킬 수 있도록 노력하겠다"고 강조했다.

넥스트아이 관계자는 "스마트기기 증가, 배터리 등 안전사고에 대한 우려로 불량 여부와 안전성을 정밀하게 감지하는 머신비전 검사장비에 대한 수요가 지속적으로 증가하고 있다"며 "마인즈아이와 중국을 중심으로 한 글로벌 시장 진출에 집중적으로 힘쓰고 있다"고 말했다.

[e-mail] 강재웅 기자