코디엠, 삼성전자 자회사 '세메스' 100% 수입 노광트랙장비 개발…국산화 공동개발 및 납품 강세

[파이낸셜뉴스]삼성전자가 자회사 세메스와 반도체 노광 분야 소재·장비 국산화에 박차를 가하고 있다는 소식에 코디엠이 강세다. 코디엠은 세메스에 노광 공정용 트랙 장비를 공동 개발하고 OEM으로 납품 중이다.

6일 오전 10시 17분 현재 코디엠은 전 거래일 대비 48원(13.24%) 오른 422원에 거래 중이다.

이날 업계에 따르면 삼성전자는 자회사 세메스의 노광 공정용 트랙 장비 승인(퀄) 테스트를 성공적으로 완료했다. 삼성전자가 테스트한 장비는 불화아르곤이머전(ArFi)용 트랙 장비다.

업계에서는 내년께 삼성전자 반도체 라인에 처음으로 이 장비를 들일 것으로 보고 있다.

업계에서는 삼성전자의 노광 분야에서의 국산화 작업이 상당히 고무적이라는 평가다. 노광 공정은 동그란 웨이퍼 위에 빛으로 회로 모양을 찍어내는 공정이다. 반도체 공정에서 가장 중요한 작업으로 꼽힌다. 다만 노광 분야에서 쓰이는 소재와 장비는 대부분 해외에서 수입하는 실정이다.

트랙 장비는 웨이퍼를 노광기에 투입하기 전 빛과 반응하는 포토레지스트(PR)라는 소재를 골고루 도포해 안정적인 상태로 만드는 역할을 한다. 이 장비는 네덜란드 ASML 등 해외 업체가 주도하는 노광기 분야만큼 해외 의존도가 높다. 특히 일본 최대 반도체 장비 업체인 도쿄일렉트론(TEL)이 트랙 장비 영역에서 상당히 강세다.

삼성전자는 세메스와 협력해 범용 노광 공정인 ArFi 트랙 장비 국산화 시도를 계기로 해외 의존도 낮추기에 고삐를 죌 것으로 예상된다.

한편 코디엠 반기보고서에 따르면 이 회사는 세메스와 반도체 장비 개발에 함께 참여했다. 세정장비, 도포·현상 장비의 OEM 방식으로 공급을 하고 있는 중이다.

코디엠 관계자는 “반도체 공정 7가지 중 3번째 되는 포토 레지스트리라는 장비가 있는데 이 장비를 주로 생산하고 세메스에 납품한다”면서 “우리가 장비 만들어서 세메스에 납품하면 세메스에서 추가로 조립을 한 후 삼성에 보내는 식”이라고 전했다.

[e-mail] 김민기 기자