반도체 불황 뚫을 신기술 '웨이퍼 쏘·ALD' 첨단장비 나왔다

반도체 장비·소재 기업들이 국내 최대 반도체 장비·소재 전시회 '세미콘코리아 2023'에 참가해 신기술을 뽐냈다.

2일 국제반도체장비재료협회(SEMI)에 따르면 세미콘코리아가 오는 3일까지 서울 삼성동 코엑스에서 열린다.

특히 주성엔지니어링과 신성이엔지, 한미반도체, 시노펙스, 유니테스트, 케이씨텍 등 국내 유수 반도체 장비·소재 업체들이 부스를 마련했다.

우선 주성엔지니어링은 반도체 원판(웨이퍼) 위에 막을 입히는 기능을 하는 원자층증착장비(ALD) '가이던스 시리즈'를 선보였다. 가이던스 시리즈는 시공간 분할을 통해 단차 피복 비율과 박막 응력 등을 조절할 수 있다.

이를 통해 반도체 원판 위에 얇으면서도 균일하게 막을 입히는데 유리하다.

아울러 반도체 원판 위에 소스와 퍼지, 가스 등 노출 시간을 자유자재로 제어할 수 있어 △커패시터 △트랜지스터 △인터커넥터 등 다양한 반도체 공정으로 확대 적용할 수 있다.

김태영 주성엔지니어링 경영관리그룹장은 "반도체 회로선폭이 최근 10나노미터(㎚) 이하로 미세화 하는 등 빠르게 진화하는 추세"라며 "가이던스 시리즈는 반도체 업체들의 다양한 요구를 충족시킬 수 있을 것"이라고 말했다.

신성이엔지는 '파티클 가시화 시스템', '기류 연동 시스템' 등 반도체 클린룸 장비를 선보였다. 파티클 가시화 시스템은 눈에 보이지 않는 초미세먼지를 영상을 통해 감지하는 기능을 한다. 또 기류 연동 시스템은 클린룸 안에 신선한 공기를 공급한다. 아울러 조명 일체형 공기청정기인 '퓨어루미', 에어샤워 기능을 하는 '퓨어게이트' 등 일반 소비자를 대상으로 한 제품들도 선보였다.

박원세 신성이엔지 해외관리팀장은 "창립 후 46년 동안 공기 조화 분야에 주력해 온 기술력을 한 자리에서 경험할 수 있도록 부스를 꾸몄다"고 말했다.

한미반도체는 반도체 원판을 정밀하게 절단하는 '웨이퍼 마이크로 쏘' 장비를 공개했다. 한미반도체는 지난 2021년 '듀얼 척 마이크로 쏘'를 출시한 이후 '테이프 마이크로 쏘', '글라스 마이크로 쏘' 등을 잇달아 출시하며 마이크로 쏘 장비 라인업을 강화하는 중이다.

한미반도체는 반도체 후공정 장비 일종인 '비전플레이스먼트' 분야에서 전 세계 시장 선두자리를 이어간다.

비전플레이스먼트에 이어 마이크로 쏘 분야를 집중 육성한다는 방침이다. 한미반도체는 세미콘코리아 외에도 이달 중 열리는 '세미콘차이나'(중국), '세미콘타이완'(대만)에서도 마이크로 쏘 장비를 선보일 예정이다.

한편 국제반도체장비재료협회가 주최하는 세미콘코리아 전시회에는 올해 삼성전자와 SK하이닉스 등 반도체 제조사를 비롯해 ASML과 니콘, 캐논, 히타치 등 국내외 반도체 장비·소재 기업 450곳이 참가했다.

[e-mail] 강경래 기자