SK하이닉스 ‘네온 가스 재활용’ 기술 개발

SK하이닉스는 국내 반도체용 특수가스 기업 TEMC와 협업해 반도체 업계 최초로 네온가스 재활용 기술을 개발했다고 1일 밝혔다. 최근 국제 정세 불안으로 수입에 의존해 온 네온의 수급 불확실성이 커지자 SK하이닉스가 국내 소부장 기업과 함께 재활용 기술 개발에 나선지 1년여 만의 성과다.

네온은 희귀 가스 중 하나로, 반도체 노광공정에 필수적인 엑시머 레이저 가스의 주요 성분이다.

네온은 레이저 광원으로 활용할 때 화학적으로 분해되거나 변형되지 않는다는 특징이 있다. 때문에 한 번 사용한 네온은 불순물 제거 등의 분리 및 정제만 거치면 재활용이 가능하다.

SK하이닉스는 이 점에 주목해 네온 재활용 기술 개발에 성공했다. SK하이닉스와 TEMC는 노광공정 이후에 스크러버를 통해 공기 중으로 배출되던 네온 가스를 수집 탱크에 포집하고, TEMC의 가스 처리 과정을 통해 네온만 선택적으로 분리해 정제했다. 이렇게 정제된 네온은 다시 SK하이닉스로 공급돼 반도체 제조 공정에 사용된다. 현재 네온 회수율은 72.7%에 이른다.

SK하이닉스는 앞으로 지속적으로 정제수율을 개선해 네온 회수율을 77%까지 높일 계획이다.

네온 재활용 기술이 반도체 팹에 적용될 경우 연간 400억원 상당의 네온 구매 비용이 줄어들 것으로 예상된다.

아울러 이 기술은 네온 생산 과정에서의 온실가스 배출량을 연간 1만2000t 줄이는 효과도 기대된다.

[e-mail] 장민권 기자