시노펙스, 세미콘코리아에 반도체 첨단 필터 출품

케미컬 필터 15·10나노 2종 전시
70·50나노 CMP필터로 기술력 입증
포스트 CMP 필터 첫 선

시노펙스 세미콘코리아 부스 전경. 시노펙스 제공

[파이낸셜뉴스] 시노펙스가 국내 최초로 개발한 10나노 반도체 공정용 케미컬 필터를 '세미콘코리아 2025' 전시회에서 처음 공개한다.

18일 관련 업계에 따르면 시노펙스는 이번 전시회에 △15나노 및 10나노 반도체용 케미컬 필터 2종 △70나노 및 50나노 CMP 필터 2종 △포스트 CMP 필터 1종 등 반도체 공정에 사용하는 첨단 필터들을 전시한다. 세미콘코리아는 반도체 관련 국내 최대 규모 전시회로 올해는 전 세계 500여개 기업이 참가할 예정이다.

시노펙스 '15나노 및 10나노 반도체용 케미컬 필터'는 국책 과제를 통해 지난 2020년 개발에 착수해 지난해 말 국내 최초로 국산화에 성공했다.

특히 지난해 말 동탄사업장에 '첨단 반도체 필터 생산 센터'를 준공하고 거래처와 제품에 대한 평가를 진행하는 상황으로 올해 1·4분기 중 평가를 마친 뒤 2·4분기 이후 제품을 업계에 공급할 계획이다.

또한 'CMP 필터'는 시노펙스가 글로벌 반도체 기업에 공급하는 제품으로 기존 공급 중인 70나노 제품을 업그레이드한 50나노 제품을 선보일 예정이다. 시노펙스는 CMP 공정 이후 세정공정에 사용하는 '포스트 CMP 필터'도 이번 전시회를 통해 공개한다. 이 제품은 제약·식음료 분야에 사용하는 PES 멤브레인을 적용한 제품으로 이번에 전시하는 제품은 0.2마이크로 PES 멤브레인을 적용했다.

석유민 시노펙스 상무는 "이번에 출품하는 제품은 그동안 전량 수입에 의존하던 제품을 국산화한 제품들"이라며 "자체 개발하고 생산하는 멤브레인 필터가 우리나라 반도체 산업 경쟁력을 향상시키는데 일조한다는 자부심과 사명감으로 좋은 품질 제품을 경쟁력 있는 가격으로 공급하기 위해 노력할 것"이라고 말했다.

한편 시노펙스는 이번 전시회에 반도체 산업에 사용되는 기술을 적용한 가정용 제품으로 '시노텍스 마스크', '시노텍스 정수기·샤워기' 등을 전시할 예정이다.

[e-mail] 강경래 기자