계산전자공학 입문 - 반도체 공정

[파이낸셜뉴스] 반도체 소자 제조 과정을 정확히 이해하는 데 필수적인 시뮬레이션 기법을 소개하는 책 '계산전자공학 입문-반도체 공정'이 출간됐다.

총 8장으로 구성된 이 책은 반도체 공정 시뮬레이션의 기본 개념부터 실제 상보성금속산화막반도체(CMOS) 공정 응용까지 폭넓게 다룬다. 또 반도체 공정의 핵심 기술인 산화 공정, 확산 공정, 이온 주입 공정, 박막 증착 공정, 식각 공정 등의 원리를 설명하고 이를 컴퓨터 시뮬레이션을 활용해 분석하는 방법을 제시한다.

저자인 홍성민 교수는 서울대에서 전기컴퓨터공학 박사학위를 받은 후 독일과 미국에서 연구 활동을 거쳐 현재 광주과학기술원(GIST)에서 부교수로 재직 중이다.

[e-mail] 유선준 기자