초음파를 이용한 비파괴검사장치 개발업체인 (주)어코랩이 최근 ‘자동 초음파 c-scan 검사장치(모델명 AL2000-Scanning Acoustic Microscope)’를 개발했다. 이 제품은 초음파를 검사체에 쏘아 물체 내부상태를 확대,컴퓨터 화상으로 보여주는 초음파현미경이다. 예를 들어 임신 중인 태아를 검사하는 초음파 장비가 의료용이라면 이 제품은 고주파수(5∼400MHZ)를 이용,물체를 파괴하지 않는 상태에서 반도체를 비롯한 산업전반에 쓰이는 소재·설비 등의 표면 및 내부를 모니터를 통해 최고 1㎛의 해상도와 1m/sec의 속도로 검사가 가능한 산업용 장비다.
특히 이 제품은 사용자 인터페이스 기능을 강화했고 외국장비보다 30%가격도 저렴해 국내 반도체 업계에서 인기를 모을 것으로 기대된다.
이원흠 어코랩 사장은 “가로·세로·3차원 등 여러 각도에서 물체내부를 검사할 수 있어 입체적인 분석을 가능하게 하는 것이 특징”이라고 말했다.
/ blue73@fnnews.com 윤경현
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