엘오티베큠, 반도체 CVD(화학기상증착반응기) 공정용 건식진공펌프 계약

파이낸셜뉴스

입력 2010.06.14 10:47

수정 2010.06.14 10:47

엘오티베큠은 삼성전자와 18억원 규모(최근 매출액 대비 4.75%)의 반도체 CVD(화학기상증착반응기)공정용 건식진공펌프계약을 체결했다고 14일 공시했다.

/haeneni@fnnews.com 정인홍기자

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