티씨케이, 실리콘 카바이드 기판 및 정전척의 전극 제조방법 특허(종합)

티씨케이는 실리콘 카바이드 기판 제조방법에 대한 국내특허를 취득했다고 10일 공시했다.

업체는 이 기술을 고순도 SiC 소재의 반도체용 전극이나 Ring제조에 활용할 예정이다.

티씨케이는 또 정전척의 전극 제조방법에 대한 국내특허도 취득했다고 전했다.

/[e-mail] 박인옥기자