티씨케이, 실리콘 카바이드 기판 및 정전척의 전극 제조방법 특허(종합)

박인옥 기자

파이낸셜뉴스

입력 2010.12.10 08:57

수정 2010.12.10 08:57

티씨케이는 실리콘 카바이드 기판 제조방법에 대한 국내특허를 취득했다고 10일 공시했다.

업체는 이 기술을 고순도 SiC 소재의 반도체용 전극이나 Ring제조에 활용할 예정이다.

티씨케이는 또 정전척의 전극 제조방법에 대한 국내특허도 취득했다고 전했다.

/pio@fnnews.com 박인옥기자

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