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테스, 산화막 증착방법에 관한 특허 취득

이세경 기자

파이낸셜뉴스

입력 2011.01.10 11:20

수정 2011.01.10 11:20

테스는 저온 화학기상증착에 의한 산화막 증착 방법에 대한 특허를 취득했다고 10일 공시했다.

/seilee@fnnews.com 이세경기자

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