SKC, 반도체 공정 핵심 '블랭크 마스크' 하이엔드급 생산

충남 천안 SKC 하이테크앤마케팅 천안공장에 마련된 SKC 블랭크 마스크 공장.

[파이낸셜뉴스] SKC가 반도체 노광공정 핵심소재로 쓰이는 블랭크 마스크 하이엔드급 제품 국산화에 나선다. 블랭크 마스크는 반도체 웨이퍼에 전자회로 패턴을 새길 때 쓰이는 핵심소재로, 이중 하이엔드급 블랭크 마스크는 그간 수입에 의존해왔다.

SKC는 최근 충남 천안 하이엔드급 블랭크 마스크 공장에서 고객사 인증용 시제품 생산을 본격화했다고 26일 밝혔다. 약 430억원을 투자해 지난해 4월 이 공장 건설에 착수한 SKC는 지난해 12월 완공하고 양산 준비를 해왔다. 고객사 인증을 거쳐 연내 상업화에 나서는 것이 목표다.

이번 양산을 시작으로 SKC는 SKC하이테크앤마케팅 천안공장 내 여유 부지를 반도체 소재 클러스터로 조성하기로 했다. 이를 통해 50% 가량인 반도체 소재 국산화율을 높이는 데 기여할 수 있을 것으로 기대하고 있다.

반도체 웨이퍼에 회로를 새길 때 사용하는 포토 마스크의 원재료인 블랭크 마스크는 금속막과 감광막을 나노미터 단위의 얇은 두께로 쿼츠에 도포해야 하는데, 하이엔드급은 더 얇고 여러 번 균일하게 도포하는 것이 핵심이다. SKC는 여기에 필요한 진공증착(sputtering) 기술과 초청정 무진 관리 경험을 바탕으로 한 생산 역량을 지녔다고 설명했다.

SKC 관계자는 "수년 간 BM혁신을 추진해온 SKC는 1단계 혁신을 마치고 반도체, 모빌리티, 친환경, 디스플레이 사업을 중심으로 2단계 BM혁신을 추진하고 있다"면서 "천안에 마련한 SKC 반도체 소재 클러스터를 중심으로 반도체 사업을 고도화하고 국산화율을 높이기 위해 노력하겠다"고 말했다.

[e-mail] 성초롱 기자