SK실트론, 폐슬러리 재활용 기술특허 "폐기물 제로화"

[파이낸셜뉴스]반도체 웨이퍼 생산과정에서 발생하는 폐슬러리를 친환경적으로 재사용하는 기술이 개발됐다. 그동안 폐슬러리를 전량 소각하거나 땅에 묻었지만, 앞으로는 폐기물 자체를 만들지 않는 길이 열린 것이다.

반도체 웨이퍼 제조기업 SK실트론은 ㈜클린솔루션, ㈜케이에스티와 폐자원 재활용과 환경 생태계 보호를 위한 업무협약을 체결했다고 25일 밝혔다.

SK실트론은 한국기술교육대학교 산학협력단, ㈜클린솔루션과 반도체 웨이퍼 생산 중 발생되는 지용성 폐슬러리(Slurry) 수천t을 재활용할 수 있는 친환경 기술을 개발했다.

SK실트론은 반도체 웨이퍼 전체 생산공정 중 잉곳을 잘라 웨이퍼를 만들어내는 와이어소잉(Wire-Sawing) 공정에 슬러리를 연마제로 사용하고 있다.

사용한 폐슬러리는 지금껏 재활용이 불가해 전량 소각, 매립해왔다. 하지만 SK실트론은 폐슬러리로 인한 환경 오염 최소화를 위해 폐슬러리의 분석 정보와 폐슬러리 분리 시스템 기술을 산학협력단과 ㈜클린솔루션에 제공, 폐슬러리의 95% 이상을 재활용하고 상품화하는 데 성공했다. 해당 기술은 SK실트론, 한국기술교육대학교, ㈜클린솔루션이 공동으로 특허를 신청했다.

이번 업무협약으로 SK실트론은 폐슬러리를 ㈜클린솔루션에 제공하고, ㈜클린솔루션이 이를 고형분의 파우더와 폐오일, 증류 오일로 분리해 ㈜케이에스티에 제공하게 된다.

㈜케이에스티는 이들을 상품화해 판매까지 진행할 계획이다. SK실트론은 조만간 매립 폐기물 자체를 아예 제로화할 예정이다.

SK실트론은 "신규 기술 개발과 업무협약을 통해 환경 보호 뿐 아니라 이해관계자인 협력업체에 사업 기회를 제공해 추가적인 사회적 가치를 창출할 수 있다"고 강조했다.

[e-mail] 김경민 기자