반도체 소부장 국산화 개발 탄력

나노종합기술원에 12인치 반도체 테스트베드
국내 산학연 이용자들 17일부터 서비스 가능

나노종합기술원 연구원들이 1층청정실 앞에서 연구원이 자체 제작한 40nm 패턴웨이퍼를 선보이고 있다. 과기정통부 제공

[파이낸셜뉴스] 국내 반도체 관련 기업들이 해외에 나가지 않고도 소재·부품·장비의 성능 테스트를 할 수 있게 됐다. 이로써 일본의 수출 규제로 촉발된 반도체 소부장 기술자립에 탄력이 붙을 전망이다.

과학기술정보통신부는 국내 최초로 나노종합기술원에 12인치 반도체 테스트베드를 구축했다고 16일 밝혔다. 국내 산·학·연 이용자들은 17일부터 나노종합기술원에서 공식 서비스를 받을 수 있게 됐다.

과기정통부 관계자는 "나노종합기술원의 테스트베드로 반도체분야 소부장 기술자립화에 소요되는 시간과 비용을 획기적으로 절감할 수 있게 됐다"고 설명했다.

2019년 7월 일본의 반도체 생산용 소재·부품 수출을 규제한 이후 1년9개월만이다.

과기정통부는 일본 수출규제 발표 한달만인 8월 나노종합기술원을 반도체 소부장 12인치 테스트베드 운영기관으로 지정했다. 국비 450억원을 투자해 핵심장비 10대와 청정실을 구축하고 공정기술 개발과 장비안정화 작업을 진행했다.

나노종합기술원 이조원 원장은 "현재 12인치 테스트베드는 40나노미터(㎚) 패턴웨이퍼 제작이 가능한 인프라로, 반도체 핵심 소재와 장비개발을 집중 지원할 예정이며, 향후 20㎚급 패턴웨이퍼 제작과 부품 테스트를 지원할 수 있는 추가 장비구축 및 공정기술 개발을 추진할 계획"이라고 밝혔다.

나노종합기술원 연구원이 2층청정실에서 12인치 반도체용 증착 장비를 운영하고 있다. 과기정통부 제공

한편, 그동안 국내 반도체 소부장 기업들은 일본 수출규제 이전에도 대기업 생산환경과 유사한 12인치 테스트베드가 국내에 없어 많은 애로가 있었다. 대기업 납품에 필요한 수준의 평가결과를 얻기 위해 많은 비용과 시간을 들여 해외 테스트베드를 이용해야만 했다.

아니면 나노종합기술원의 8인치 장비를 이용해 기초평가 수준에서 만족할 수 밖에 없었다.

[e-mail] 김만기 기자