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25일 동진쎄미켐은 전 거래일 대비 1150원(3.42%) 오른 3만4700원에 거래 중이다.
이날 업계에 따르면 동진쎄미켐은 지난해 연말부터 삼성전자 최신 D램 생산라인에 ArFi(불화아르곤 이머전) 포토레지스트를 공급하고 있는 것으로 확인됐다.
그동안 동진쎄미켐은 그동안 ArF PR보다 한 단계 낮은 급인 불화크립톤(KrF) PR을 주로 공급해왔다. 하지만 이번에 한 단계 높은 ArFi PR를 삼성전자에 공급하면서 업그레이드된 기술력을 인정받았다는 평가다.
PR은 반도체 공정 중 회로 모양을 빛으로 반복적으로 찍어내는 노광 공정에서 반드시 필요한 소재다. 공정 전 PR을 웨이퍼 위에 골고루 도포해야 회로 모양을 새길 수 있다.
삼성전자의 ArFi PR 공급망은 그동안 외국 회사들이 독점했었다. 동진쎄미켐은 일본의 수출규제 이후 절호의 기회를 잡았다. 새로운 ASML ArFi 장비 입고 및 인력 채용 등 투자를 대폭 늘렸다. 그 결과 반도체 공정을 단순화시키는 기능까지 추가한 ArFi PR 개발과 양산 적용까지 약 1년 반 만에 이뤄냈다.
업계 관계자는 “신규 제품 연구개발 단계에서 소재 퀄(승인)을 받는 것보다 이미 공정이 결정된 상황에서 새로운 소재로 대체를 하는 작업이 훨씬 어렵다”며 “삼성전자에서도 동진쎄미켐 PR을 도입하기 위해 적극 지원한 것으로 안다”고 전했다.
kmk@fnnews.com 김민기 기자
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