세계 최고 측정기술로 불화수소 국산화 기여

표준과학연구원, 소부장 경쟁력 강화 2년간 성과 발표

한국표준과학연구원 가스분석표준그룹 연구진이 고순도 가스 순도분석 연구를 진행하고 있다. 표준과학연구원 제공

[파이낸셜뉴스] "세계 최고 수준의 측정표준·측정과학기술 역량과 인프라로 국산 장비 성능검증, 측정연구장비 개발, 맞춤형 인재양성까지 전주기 지원하고 있으며, 앞으로도 대한민국 소부장 경쟁력 강화에 도움이 되겠다."
박현민 한국표준과학연구원(KRISS) 원장이 13일 소재부품장비 연구성과 기자간담회를 개최하고 지난 2년간 성과와 향후 계획을 발표했다.

표준과학연구원은 외국산에 독점화된 반도체 장비와 관련해 센서가 내장된 '지능형 식각공정 장비' 개발을 추진키로 했다. 또한 불화수소 이외의 반도체용 가스의 품질평가를 진행해 국내 가스 소재 생산업체들의 품질향상에 기여할 예정이다. 이와함께 소부장 산업에 중요한 연구장비를 국산화하고 전문인력 양성에 주력키로 했다.

표준과학연구원은 세계 최고의 '측정표준' 기술로 우리나라 기업체들이 개발한 기술에 확신을 심어주고 있다. 여기에 원천기술 개발과 불화수소를 포함한 반도체용 가스소재 국산화, 연구장비 인력양성까지 소부장 전반을 아우르고 있다.

또한 1999년부터 반도체·디스플레이 산업의 60% 이상 공정에서 사용되는 진공 장비측정 평가시스템을 마련해 산업체 수요를 파악하고 관련 문제를 해결해 왔다.

실제로 표준과학연구원 반도체측정장비팀은 2019년 일본의 수출규제 사건 이후 외국산 장비와 국산 장비의 성능 비교 등을 진행해 국산 장비의 성능이 뛰어남을 증명하고, 국산 장비 사용을 장려했다.

지난 5월에는 플라즈마 변수를 직접 측정할 수 있는 밀도측정 기술을 세계최초로 개발했다. 이 기술은 웨이퍼 공정결과에 영향을 주는 플라즈마 밀도값 및 균일도를 실시간으로 측정할 수 있으며, 측정불확도 2% 이내로 세계 최고다.

한국표준과학연구원 오상협 책임연구원(왼쪽)이 SK머티리얼즈 박치복 팀장과 세정용 특수가스와 관련해 논의하고 있다. 표준과학연구원

이와함께 표준과학연구원의 가스분석표준그룹은 불화수소를 포함한 반도체용 가스의 소재 국산화에 기여했다. 생산 능력은 갖췄지만, 제품의 품질 검증 문제가 걸림돌이었던 국내 기업에 시의적절하게 애로사항을 해결해줬다.

현재 SK머티리얼즈는 표준과학연구원과 기술협력을 통해 세정용 특수가스 삼불화질소와 육불화텅스텐가 세계 1위, 모노실란이 세계 2위 시장 점유율을 기록하고 있다.

뿐만아니라 표준과학연구원이 자체 개발한 장비를 설치해 시연할 수 있도록 지원하는 개방형 연구실인 13일 '오픈 이노베이션랩'을 새롭게 개소했다.

오픈 이노베이션을 통해 다양한 분야 장비 개발자들의 소통 공간으로 활용돼 융합연구 촉진과 실험실 개발장비의 상용화에 기여할 전망이다.

이외에도 이공계 졸업자 10명을 선발해 지난 3월부터 연구장비 SW개발 교육을 실시하고 있다.

올해 하반기부터는 연구장비 기업 재직자를 대상으로 SW개발 역량강화를 위한 교육을 진행할 예정이다.

[e-mail] 김만기 기자