포스코, 반도체용 희귀가스 ‘네온’ 생산설비 국산화

TEMC와 2년 연구개발 결실
올해부터 본격 상업생산 시작
국내 수요 16% 조달 가능해져

12일 포스코 유병옥 산업가스·수소사업부장(왼쪽 네번째)과 이진수 광양제철소장(왼쪽 세번째), 유원양 TEMC 대표(왼쪽 다섯번째)가 광양제철소 산소공장에서 열린 '네온 생산 설비 준공 및 출하식' 행사에서 기념 촬영을 하고 있다. 포스코 제공

포스코가 국내 최초로 반도체용 희귀가스 네온(Ne)의 생산 설비 및 기술을 국산화하고 첫 제품을 출하했다.

포스코는 12일 광양제철소 산소공장에서 유병옥 포스코 산업가스·수소사업부장, 이진수 광양제철소장, 유원양 TEMC 대표 등이 참석한 가운데 '네온 생산 설비 준공 및 출하식'을 가졌다.

네온은 공기 중에 0.00182% 밖에 포함돼 있지 않은 희귀가스로 반도체 노광공정(빛을 이용해 실리콘 웨이퍼에 전자 회로를 새기는공정)에서 사용되는 엑시머 레이저 가스의 원재료 중 하나다. 과거 무역분쟁 등에 따른 가격 폭등과 공급 부족을 겪으며 국산화를 시도했지만 외국 기술에 의존한 개발에 그쳤고 이 역시도 생산이 중단돼 현재 수요의 전량을 수입해 왔다.

포스코는 반도체용 특수가스 전문기업인 TEMC와 협력해 지난 2019년 말부터 약 2년에 걸쳐 네온 생산의 완전 국산화를 추진해왔다.

제철 공정용 가스 생산에 사용 중인 대형 공기분리장치를 활용해 광양제철소 산소공장과 TEMC의 기술력을 기반으로 국내 최초의 네온 생산 설비를 자체 개발했다. 또 이를 통해 추출한 네온을 TEMC가 독자 기술로 정제한 후 완제품인 엑시머 레이저 가스까지 생산하는 전 공정 국산화를 완성했다.

이번에 준공한 설비는 고순도 네온 기준 연간 약 2만2000N㎥ 생산할 수 있으며, 이는 국내 수요의 16%가량을 충족할 것으로 예상된다. 포스코는 지난해 말 시운전을 통해 제품 품질 평가를 마무리했으며, 올해 설비를 준공하고 본격적인 상업 생산에 들어가게 됐다.

업계에서는 2020년 기준 약 1600억원 규모였던 국내 희귀가스 시장이 2023년에는 약 2800억원 규모로 확대되는 등 연평균 20%가량 성장할 것으로 전망하고 있다.

하지만 국내 반도체 업계는 희귀가스를 100% 수입에 의존하고 있다.

포스코는 지난해 반도체용 친환경 가스 제조기술 연구개발을 추진하는 등 산업가스 사업을 성장 동력으로 육성 중이다.

향후 네온 생산 설비의 증설을 통해 국내 공급망을 더욱 견고히 하고, 제논과 크립톤 역시 강소기업과의 협업으로 생산기술을 개발해 국내 산업가스 시장의 상생모델을 구축한다는 방침이다.

[e-mail] 김병덕 기자