韓 몰려오는 '슈퍼 乙' 반도체 장비사…ASM "연구센터 증설"

톱티어 램리서치·TEL·AMAT 이어 올해 ASM도 국내 1300억 투자
미·중 갈등여파 中대체지로 부상
삼성·SK 국내 생산 확대도 영향

반도체 증착 장비 분야 세계 1위인 네덜란드 ASM이 첨단 반도체에 대한 수요가 확대되면서 주요 거점인 한국에서의 투자를 확대한다. 중국 사업이 미국의 대중국 제재로 위기에 처하자 국내 투자 확대에 나선 삼성전자와 SK하이닉스의 기조에 발맞춰 글로벌 4대 반도체 장비사들이 앞다퉈 한국행에 나선것으로 분석되고 있다.

■ASML 못지 않은 '슈퍼 乙' 기업

ASM은 23일 서울 강남구 조선 팰리스에서 국내 첫 기자간담회를 가졌다. 이날 기자간담회에서 ASM은 경기 화성시에 제2제조연구혁신센터 확장 등 국내 투자계획을 밝혔다.

반도체 업계에서 '슈퍼 을'로 불리는 네덜란드 노광 장비 기업 ASML의 모태인 ASM은 반도체 제조공정 중 증착 공정에 활용되는 장비인 원자층증착(ALD) 장비와 에피택시(Epitaxy) 등을 주로 생산하는 기업이다.

증착 공정은 웨이퍼가 전기적 특성을 갖도록 다양한 물질의 박막을 입히는 과정으로 미세공정과 최첨단 반도체 생산에 있어 핵심 공정으로 분류된다. 벤자민 로 ASM 최고경영자(CEO)는 "한국지사는 네덜란드 본사, 미국, 싱가포르와 더불어 핵심 지사"라면서 "플라즈마원자층증착(PEALD)의 경우 전세계 ASM 지사 가운데 한국에서만 유일하게 연구·개발(R&D)과 생산이 이뤄진다"고 설명했다.

앞서 ASM은 지난 2월 산업통상자원부와 1억달러(약 1300억원) 규모의 투자 협약을 체결했으며, 이번 증설에 따라 향후 3~5년 동안 200명 가량의 직원을 추가 채용할 계획인 것으로 전해진다.

로 CEO는 "반도체는 경기에 따라 업턴(상승 국면)과 다운턴(하강 국면)이 순환됐으나 전체적으로 봤을 땐 우상향을 그리고 있다"면서 "최근 잉여재고와 인플레이션 등 외부적인 요인으로 업황이 부진했지만 5세대(5G)통신에서 6G로 전환, 생성형 인공지능(AI) 등으로 2030년에는 글로벌 반도체 시장의 규모가 1조달러(약 1312조원)에 육박할 것"이라고 내다봤다. 이어 "전체 반도체 투자 중 절반가량이 7나노미터(1㎚=10억분의 1) 이하 최첨단 공정에 집행되고 있다"면서 "모든 반도체 회사가 ALD 장비가 필수적인 D램, 3차원(D)낸드플래시, 3나노 이하 칩 등에 집중하고 있어 이는 ASM에 있어 긍정적인 기회가 될 것"이라고 자신감을 드러냈다.

■삼성·SK 국내 투자 확대에 한국 러시

ASM에 앞서 지난해 글로벌 반도체 장비시장에서 60% 이상의 점유율을 차지하는 상위 4개사가 최근 국내 투자를 확대했다.

반도체 식각 장비 부문 전세계 점유율 1위인 램리서치는 지난해 4월 경기 용인 지곡산업단지에서 R&D시설인 코리아테크놀로지센터(KTC)를 개소했다. 도쿄일렉트론(TEL)은 지난해 2000억원을 투자해 기존 R&D시설을 증축하기로 했다. TEL은 노광 공정에 필수적인 트랙 설비 분야 점유율 세계 1위 기업이다. 전공정 장비분야 1위인 어플라이드머티리얼스(AMAT)도 지난해 7월 산업통상자원부와 투자의향 업무협약(MOU)을 체결하고 경기도 일대에 R&D센터를 짓는다고 발표했다.

이어 전 세계에서 유일하게 노광장비를 생산하는 ASML도 지난해 11월 경기 화성에 약 2400억원을 투입해 반도체 노광장비 수리센터, 차세대 반도체 노광장비 기술센터 등을 구축할 예정이다.

일각에서는 글로벌 장비사들의 이 같은 움직임을 두고 한국이 미·중 간 반도체 패권경쟁 격화로 반도체 장비 분야에서 중국의 대체지로 떠올랐다는 분석이 나왔다.

김양팽 산업연구원 전문연구위원은 "삼성전자의 평택공장, 용인 반도체 클러스터 구축 등 삼성전자와 SK하이닉스가 국내에서 생산기지를 확대하면서 이에 맞춰 최대 고객과 가까운 거리에서 장비를 공급하려는 움직임"이라고 해석했다.

[e-mail] 김준석 기자