"반도체 공정 적용" 시노펙스, 'ePTFE' 방진복 첫 국산화

시노펙스 특수 방진복. 시노펙스 제공.

[파이낸셜뉴스] 시노펙스가 자체 기술로 개발한 'ePTFE' 소재를 활용, 특수 방진복을 만드는데 성공했다.

25일 시노펙스에 따르면 이번에 개발한 특수 방진복은 나노급 반도체 공정인 클래스(CLASS 1~10)급 공정용 방진복으로 반도체 불량 원인이 되는 초미세먼지 포집효율 99.9%인 고성능 제품이다.

ePTFE는 불소계열 소재로 미국 고어가 전 세계 시장을 과점하는 상황이다. 시노펙스는 지난 2015년 'PTFE' 국산화 국책과제 주관기업으로 선정된 뒤 수소연료전지용 이오노머를 개발했다. 또한 ePTFE 벤처기업 프론텍 인수를 통해 통기성이 우수한 ePTFE 멤브레인 생산 기초를 다져왔다.

반도체용 올테프론필터 개발을 위해 차세대 ePTFE 공정도 연구 중이다.

일반 MB 소재 방진복은 포집효율이 10% 내외로 반도체 공정이나 고청정 제약·바이오산업에는 수입 ePTFE 소재 특수 방진복을 사용해왔다. 국내산 ePTFE 소재로 특수 방진복을 만든 것은 이번이 처음이다.

노시갑 시노펙스 부사장은 "국내 소재·부품·장비(소부장) 경쟁력 강화를 위한 국책 과제로 ePTFE 소재 국산화 이후 시노텍스 마스크 등에 적용해 성능을 입증했다"며 "이번 수입 소재를 대체한 고성능 ePTFE 방진복에 이어 차기 제품들도 다양하게 준비 중"이라고 말했다.

이어 "ePTFE 설비는 자체 설계와 직접 제작한 장비로 소재와 장비를 직접 제어해 맞춤형 ePTFE 원단을 생산할 수 있는 것이 경쟁력"이라고 덧붙였다.

시노펙스는 현재 ePTFE 소재를 활용한 △수소연료전지 분리막 △5G 통신용 케이블 △시노텍스 마스크 등 제품을 상용화했다.

이번 ePTFE 특수 방진복은 반도체와 유기발광다이오드(OLED), 의료, 선박 공정 등 다양한 산업 분야에 사용될 전망이다.

[e-mail] 강경래 기자