최첨단 반도체 장비·기술 다 모인 '세미콘코리아 2024'

기술력 무장한 500개 업체·2100개 부스 운영… 2일 피날레
신성이엔지, 클린룸 종합 솔루션
한미반도체, HBM 필수장비 공개
파크시스템스, 원자현미경 출품

한미반도체 세미콘코리아 부스 전경. 한미반도체 제공

신성이엔지 세미콘코리아 부스 전경. 신성이엔지 제공

반도체 장비기업들이 대거 '세미콘코리아 2024'에 참가해 신기술을 공개했다.

1일 국제반도체장비재료협회(SEMI)에 따르면 국내 최대 반도체 전시회인 세미콘코리아가 오는 2일까지 서울 삼성동 코엑스에서 열린다. '경계를 넘어선 혁신'을 주제로 한 올해 행사엔 신성이엔지와 한미반도체, 파크시스템스, 저스템 등 국내외 500여개 장비·재료 업체들이 약 2100개 부스를 마련해 참가했다.

우선 신성이엔지는 'FFU(Fan Filter Unit)' 등 반도체 클린룸 장비 기술을 공개했다. 산업용 공기청정기인 FFU는 첨단 공기제어 기술을 통해 초미세먼지까지 제어, 제품 품질과 수율을 높이는 장비다.

현재 신성이엔지는 해당 분야에서 전 세계 점유율 60% 이상을 차지한다.

신성이엔지는 FFU 외에 △외부에서 유입되는 오염된 공기를 깨끗하게 처리해 실내로 공급하는 '외조기(OAC)' △공기 중 이온성 오염물질을 제거하는 'WSS' △정상 방향으로 기류 환경을 유지해주는 '기류 연동 시스템' △휘발성 유기화합물을 제거하는 'V-마스터' △초미세먼지까지 감지하는 '미립자 가시화 시스템' 등을 공개했다.

신성이엔지 관계자는 "47년간 축적한 공기제어 기술을 바탕으로 만든 다양한 장비들을 출품했다"며 "앞으로도 클린룸 기술 선도 기업으로서 첨단산업환경 청정 토털솔루션을 선도적으로 제시하며 관련 산업 성장을 이끌 것"이라고 말했다.

한미반도체는 반도체 후공정 장비인 'TC본더'를 공개했다. 특히 TC본더는 '고대역폭메모리(HBM)' 공정에 필수로 쓰이면서 최근 주목을 받는다. HBM은 D램 메모리반도체를 수직으로 쌓아 올려 성능을 높인 제품이다. HBM은 인공지능(AI) 반도체와 함께 다양한 기기로 적용이 확대된다.

한미반도체는 이번 세미콘코리아 전시회를 통해 하이퍼 모델 '듀얼 TC본더 그리핀', 프리미엄 모델 '듀얼 TC 본더 1.0 드래곤' 등 TC본더 제품군을 적극 알리고 있다. 아울러 올 상반기 중 출시할 예정인 '7세대 뉴 마이크로쏘 & 비전플레이스먼트 6.0 그리핀' 등을 공개했다.

파크시스템스는 반도체 검사공정에 쓰이는 원자현미경을 출품했다. 원자현미경은 사물을 나노미터(㎚, 10억분의 1m) 단위로 정밀하게 측정할 수 있다. 광학현미경과 전자현미경 배율은 각각 수천배와 수십만배인데 반해, 원자현미경은 수천만배에 달한다. 원자현미경은 반도체 회로선폭이 나노미터 단위로 미세화하면서 국내외 유수 반도체 기업들 사이에서 도입이 활발히 이뤄지는 추세다.

파크시스템스는 이렇듯 반도체 웨이퍼, 포토마스크 등 다양한 반도체 공정에서 원자현미경 역할이 커지는 것을 세미콘코리아 참관객들을 대상으로 적극 알릴 방침이다. 이를 위해 현장에서 △전하 농도 측정 및 자동 영상화 △박막 전압 및 관련 특성 이미징 △전기 데이터 분석 등을 제시했다.

저스템은 차세대 반도체 습도제어 솔루션 'JFS(Justem Flow Straightener)'를 공개했다. JFS는 기류제어시스템을 이용해 반도체 공정 내 45% 습도를 반도체 웨이퍼를 담는 장치(FOUP) 안에서 1% 이하로 낮출 수 있는 솔루션이다.

이를 통해 습도로 인한 손실을 줄이고 반도체 수율을 향상시킬 수 있다. 저스템은 글로벌 반도체 업체와 JFS 기술에 대한 양산 평가를 마친 뒤 공급 계약을 앞두고 있다.

김신우 신성이엔지 상무는 "지난해 반도체 불황으로 장비·재료 기업 상당수 실적이 예상치를 하회했다"며 "하지만 올해 반도체 시장이 반등할 것으로 예상되면서 장비·재료 기업들이 세미콘코리아를 통해 국내외 바이어들에 기술력을 적극 알리고 실적 만회에 나서려는 분위기가 감지된다"고 말했다.

[e-mail] 강경래 기자