SK하이닉스, 식각공정에 ‘AI 솔루션’ 도입

가우스랩스, 파놉테스 VM 2.0 출시
반도체 회로 패턴 제작 과정에 적용

SK하이닉스가 반도체 회로 패턴을 만드는 식각 공정에 '인공지능(AI) 솔루션'을 도입한다.

SK하이닉스는 산업용 AI 전문 자회사인 가우스랩스가 AI 기반 가상 계측 솔루션 '파놉테스 VM' 2.0 버전을 출시했다고 13일 밝혔다. 파놉테스 VM은 장비에 설치된 센서에서 수집한 데이터를 활용해 제조 공정 결과를 예측하는 가상 계측 AI 솔루션이다. 물리적인 전수 계측 없이도 모든 제품의 공정 결과값을 예측할 수 있어 시간과 자원을 획기적으로 절약할 수 있다.

가우스랩스 관계자는 "이번에 출시한 파놉테스 VM 2.0은 신규 모델링 기능을 적용해 기존 버전 대비 예측 정확도와 사용성을 크게 개선했다"며 "산업용 AI 기술 혁신을 통해 산업 현장에서 공정 전반의 혁신을 주도하겠다"고 밝혔다.

SK하이닉스가 투자한 산업용 AI 기업인 가우스랩스는 2022년 11월 파놉테스 VM 1.0을 출시했다. SK하이닉스는 이를 같은해 12월 양산 팹에 도입해 박막 증착 공정에 적용, 공정 산포(한 공정에서 생산된 제품의 품질 변동 크기)를 약 29% 개선하고, 수율도 향상했다.

SK하이닉스는 성능이 개선된 이번 솔루션을 식각 공정까지 확대 적용한다는 계획이다. 식각 공정은 웨이퍼에 액체 또는 기체의 부식액을 이용해 불필요한 부분을 선택적으로 제거해 반도체 회로 패턴을 만드는 과정이다.

가우스랩스는 이를 위해 '멀티 스텝 모델링' 기능을 솔루션에 추가했다.

예측하고자 하는 공정과 앞서 진행된 공정의 데이터를 함께 활용해 모델링을 할 수 있는 기능으로, 이전 공정의 영향을 많이 받는 식각 공정에 활용하면 가상 계측 정확도를 높일 수 있다.

가우스랩스 기술진은 유사 공정의 데이터를 통합해 가상 계측에 활용, 데이터 부족으로 발생할 수 있는 문제를 최소화한 '유사 공정 통합 모델링' 기능과 데이터 특성에 따른 최적의 예측 알고리즘을 자동으로 선택해주는 '알고리즘 자동 선정' 기능도 추가, 가상 계측 품질과 사용자 편의를 동시에 개선했다고 설명했다.

김영한 가우스랩스 대표는 "지난 4년간의 노력이 가장 정밀한 제조 산업이라 불리는 반도체 분야에서 의미 있는 결과를 내는 만큼, 여기서 얻은 산업용 AI 기술력을 바탕으로 글로벌 시장을 개척해 나가겠다"고 밝혔다.

[e-mail] 김동호 기자