"클린룸 국산화 선도" 신성이엔지, 반도체대전 참가

신성이엔지 반도체대전 부스 전경. 신성이엔지 제공

[파이낸셜뉴스] 신성이엔지가 반도체 클린룸 국산화를 이룬 기술력을 반도체대전에서 공개한다.

23일 신성이엔지에 따르면 오는 25까지 서울 코엑스에서 열리는 반도체대전에 부스를 마련하고 참가한다. 특히 이번 전시회에서 청정 기능에 제습 기능을 더한 'EDM(Equipment Dehumidify Module)'을 처음 선보인다.

신성이엔지는 1977년 설립된 이후 반도체 클린룸에 쓰이는 산업용 공기청정기 'FFU(Fan Filter Unit)'를 국내 최초로 국산화하는 등 반도체 산업 발전에 기여해왔다. 클린룸은 반도체를 생산하는 청정 공간을 의미한다.

FFU는 첨단 공기 제어 기술을 통해 초미세먼지까지 제어, 반도체 품질과 수율을 높이는 기능을 한다. 현재 신성이엔지는 해당 분야에서 국내 점유율 60% 이상을 차지한다.

이날 처음 선보인 EDM은 고성능 로터를 이용해 5%RH(상대습도) 수준까지 습도를 조절할 수 있다.

제습 기능이 작동하지 않아도 청정 기능은 유지된다.

초소형 크기로 제조 설비 내 설치가 용이한 것이 특징이다.

이외에 △휘발성유기화합물(VOCs)을 95% 이상 제거하는 'V-마스터' △공기 중 이온성 가스 오염물질을 제거하는 'WSS' △눈에 보이지 않은 초미세먼지를 가시화하는 '미립자 가시화 시스템' △외부에서 유입되는 오염된 공기를 청정하게 공급해주는 '외조기(OAC)' △2차전지 드라이룸 등을 출품했다.

신성이엔지 관계자는 "1980년대 국내 반도체 산업이 태동하던 시기에 클린룸 국산화를 성공시키며 관련 산업이 성장할 수 있는 밑거름 역할을 했다"며 "기술 고도화를 통해 반도체뿐 아니라 2차전지 드라이룸, 데이터센터 공조 솔루션 영역으로 사업을 확장하는 중"이라고 말했다.

[e-mail] 강경래 기자