덕우전자-덕우세미텍, EUVL 시스템 펠리클 대체 ‘E-curtain 기술’ 상용화 개발

상용화시 기존 EUVL 시스템의 생산성 크게 향상
국내 국제특허 2건 등록 완료

덕우전자 제공.

[파이낸셜뉴스] 덕우전자와 덕우전자의 자회사인 덕우세미텍은 독일의 광학장비 회사이며, 특히 극초자외선 리소그래피 (Extreme Ultra-Violet Lithography, 이하 EUVL) 시스템의 광학계를 독점 공급하는 칼 자이스(Carl ZEISS)와 E-Curtain 기술의 상용화 개발을 위한 공동개발계약을 체결했다고 17일 밝혔다.

E-Curtain 기술은 차세대 반도체 집적공정의 핵심기술로 알려져 있는 EUVL 장비의 운영중, 마스크에 입자가 흡착되어 공정 수율 및 생산성이 떨어지는 것을 방지하기 위해 사용되는 ‘멤브레인 기반의 펠리클’을 대체하는 기술로 제안되었다.

즉 멤브레인 기반의 펠리클 대신 전자커텐빔을 사용하여 입자의 하전 및 정전기적 반발을 유도하여 입자가 마스크에 흡착되는 것을 방지하는 기술이다.

덕우전자 및 덕우세미텍은 본 기술 관련 8건의 국내 특허 및 국제 특허(PCT 5건, 국제특허 3건)를 출원하였고 이중 2건은 국내 및 국제 특허로 등록되었다. 이번 기술이 상용화 되면 기존 EUVL 시스템의 생산성이 크게 향상될 것으로 판단된다.

또한 이번 기술은 멤브레인 기반의 물질을 사용하지 않기 때문에 그 기술적 수명이 매우 클 것으로 예상되어 차세대 및 차차세대의 EUVL 장비에서도 성공적으로 사용될 것으로 예상된다.

앞서 덕우전자는 2021년 서울대학교 재료공학부 김기범 명예교수를 CTO로 영입하고 중앙연구소를 설립하여 관련 연구를 진행해왔으며, 2022년에는 덕우세미텍을 설립해 E-Curtain 기술 및 반도체 장비 분야의 연구개발을 본격적으로 수행해왔다.

덕우전자 중앙연구소는 2023년 산업통상자원부가 선정하는 월드클래스 사업 첨단신소재 분과에 선정된데 이어 2024년 ‘EUVL시스템에서의 멤브레인 기반 펠리클 대체용 electron-curtain 장치 개발’ 과제가 국제공동기술개발사업으로 선정되어 국책과제를 수행하고 있고 칼 자이스는 해당 사업의 수요기업으로 참여했다.

덕우전자 관계자는 “덕우전자와 덕우세미텍은 칼 자이스와의 상용화 개발을 통해 반도체장비 분야의 새로운 사업을 확장해 신성장 동력으로 삼을 계획”이라고 언급했다.

한편 덕우전자는 기존의 카메라모듈 부품 사업, 자동차 전장 사업과 더불어 2차전지 부품 사업에 박차를 가하고 있으며, 이번 덕우세미텍의 E-curtain 기술의 상용화와 함께 다양한 사업 포트폴리오를 갖출 것으로 전망 된다.

[e-mail] 김경아 기자