시노펙스, '첨단 반도체필터 생산센터' 준공

전량 수입 반도체 케미컬 필터 국산화
국내 최초 10나노 케미컬 필터 개발
2025년 1분기 중 10나노 제품 양산
특허 3건 등록·4건 출원 등 지적재산권

지난 17일 시노펙스 경기 동탄사업장에서 열린 첨단 반도체필터 생산센터 준공식에서 참석자들이 테이프를 절단하고 있다. 시노펙스 제공

[파이낸셜뉴스] 시노펙스가 그동안 전량 수입에 의존해온 반도체 케미컬 필터 국산화에 나섰다.

18일 시노펙스에 따르면 지난 17일 경기 동탄사업장에서 '첨단 반도체필터 생산센터' 준공식을 진행했다. 이와 함께 국내 첫 10나노 케미컬 필터 국산화 소식을 알렸다.

준공식에는 산업통상자원부 이승렬 정책실장, 한국산업기술기획평가원 전종윤 원장, 한국산업기술진흥원 이찬영 부원장, KOTRA 정외영 이사 등이 참석했다.

첨단 반도체 생산에 사용되는 케미컬 필터는 'ePTFE' 소재로 만들며 반도체 공정에 사용하는 불산과 황산 같은 강산과 200도 이상 고온에서 견디며 불순물을 제거하는 역할을 한다.

현재 케미컬 필터에 사용되는 ePTFE 소재는 미국 기업이 전 세계 시장을 과점한다. 국내 기업에는 20나노 이하 첨단 필터용 소재를 판매하지 않고 있어 20나노 이하 첨단 필터를 전량 수입에 의존하는 상황이다.

시노펙스는 2020년 총 사업비 164억원 규모 국책과제로 '반도체 공정용 불소수지계 나노 여과모듈 개발'에 착수해 올해 1월 15나노 케미컬 필터를 개발하는데 성공했다. 특히 이번에 성인 머리카락 두께 1만 분의 1에 해당하는 10나노 첨단 케미컬 필터를 개발한 뒤 거래처와 성능 평가를 진행 중이다.

이번에 준공한 첨단 반도체필터 생산센터는 내년 1·4분기 중 15나노 및 10나노 케미컬 필터를 양산해 전량 수입에 의존하는 케미컬 필터 국산화 대체에 나설 전망이다.

시노펙스가 이번에 준공한 센터는 자체 디자인한 설비를 적용하고 필터 원단에서 필터 모듈까지 자체 개발했다. 향후 1나노 첨단 제품 생산 대응이 가능하도록 최첨단 생산라인을 구축한 것이 특징이다.

이번 제품 관련 특허 3건을 획득했으며, 추가로 특허 4건 등록을 앞두고 있다.

손경익 시노펙스 대표는 "반도체 세정공정에서 나노급 입자를 완벽하게 제거하는 케미컬 필터는 첨단 반도체 산업 핵심으로 그동안 전량 수입에 의존해 왔다"며 "이번 센터 준공을 통해 세계 최고 수준 나노급 케미컬 필터를 국내에서 생산하고 공급할 수 있는 기반을 마련했다"고 말했다.

이어 "이를 통해 반도체 산업의 안정적인 공급망 구축은 물론, 글로벌 시장에서 국내 반도체 기업의 경쟁력 강화에 기여할 것"이라고 덧붙였다.

[e-mail] 강경래 기자