덕우전자-덕우세미텍, EUVL 시스템 펠리클 대체 ‘E-curtain 기술’ 상용화 개발

[파이낸셜뉴스]  덕우전자와 덕우전자의 자회사인 덕우세미텍은 독일의 광학장비 회사이며, 특히 극초자외선 리소그래피 (Extreme Ultra-Violet Lithography, 이하 EUVL) 시스템의 광학계를 독점 공급하

2024-12-17 14:27:28