'반도체 산화막 두께측정' 세계가 국산장비 인정

[파이낸셜뉴스] 국내 연구진이 국산 장비를 이용해 반도체 산화막의 두께를 측정하는 국제기준을 마련하는데 성공했다. 연구진은 국내 반도체 소자업체에 최고 수준의 측정 신뢰성을 부여함으로써 외국 기업이 따라올 수 없는 초격차

2021-04-30 10:13:24

국내 중기 측정장비로 반도체 산화막 두께 측정

[파이낸셜뉴스] 한국표준과학연구원(KRISS)이 국내 중소기업 기술로 개발한 첨단 측정장비를 통해 반도체 측정 난제인 산화막 두께를 측정하는 데 성공했다. 중소기업 케이맥㈜의 측정장비로 해결한 이번 성과는 수입 의존도가 높은 반도체

2019-12-23 11:33:45

표준연， 신물질로 만든 10나노미터 측정 기준자 개발

한국표준과학연구원 재료측정표준센터의 김창수 박사가 반도체 두께 인증표준물질에 대한 X-선 반사율을 측정하고 있다. 한국표준과학연구원(KRISS)은 재료측정표준센터 김창수 박사팀이 신물질을 활용해 10나노미터(㎚) 이하의 반도체 두께

2012-09-26 16:17:28