반도체 호황에 웃는 장비기업… 4분기도 호실적 예약

한미반도체, 3분기 영업익 993억
HBM 공정용 TC본더 공급 본격화
주성엔지니어링, ALD 납품 확대
작년보다 영업익 744% 늘어나

주성엔지니어링 증착장비(왼쪽) 주성엔지니어링 제공

반도체 장비기업들이 반도체 경기가 호황에 진입하면서 3·4분기에 호실적을 낸 것으로 나타났다. 반도체 시장이 내년까지 상승 흐름을 이어갈 것으로 예상되면서 장비기업들이 올 4·4분기에도 긍정적인 실적을 내놓을 것으로 전망된다.

12일 관련 업계에 따르면 한미반도체가 주력 반도체 장비인 'TC본더'를 앞세워 올해 3·4분기에 분기 사상 최대 실적을 달성했다. 한미반도체는 이 기간 매출액 2085억원, 영업이익 993억원을 기록했다. 이익률은 무려 48%에 달했다.

올해 3·4분기 누적 실적 역시 매출액 4093억원, 영업이익 1834억원을 올리며 나란히 최대 실적을 갈아치웠다.

한미반도체 측은 올해 하반기 들어 국내외 시장에 TC본더 공급을 본격화하면서 기록적인 실적 달성이 가능했다고 설명했다. TC본더는 열을 이용해 반도체 칩을 위아래로 정밀하게 붙이는 기능을 하며, 최근 인공지능(AI) 반도체와 함께 수요가 크게 늘어나는 고대역폭메모리(HBM) 공정에 필수로 쓰인다.

한미반도체 관계자는 "SK하이닉스, 미국 마이크론 등에 TC본더를 납품하면서 현재 이 분야에서 전 세계 시장 점유율 1위 자리를 이어간다"며 "6세대 HBM4 제조를 위한 '마일드 하이브리드 본더'를 추가로 선보이는 등 앞선 기술력을 통해 실적 상승 흐름을 이어갈 것"이라고 말했다.

주성엔지니어링은 올해 3·4분기 실적을 집계한 결과 매출액이 전년 동기 861억원보다 71% 늘어난 1472억원이었다. 같은 기간 영업이익 역시 62억원에서 522억원으로 744% 증가했다. 이익률은 35%에 달했다. 올해 3·4분기 누적 매출액은 3011억원으로 이미 지난해 연간 실적 2847억원을 훌쩍 넘어섰다.

주성엔지니어링은 반도체 원판(웨이퍼) 위에 필요한 물질을 정밀하게 입히는 증착장비에 주력한다. 특히 원자층증착장비(ALD) 분야에서는 글로벌 경쟁력을 확보했다는 평가를 받았다. 주성엔지니어링은 원자층증착장비 등을 SK하이닉스에 활발히 납품한다. 반도체 증착장비에서 확보한 기술력을 유기발광다이오드(OLED), 태양광 등 다른 장비 분야로 확대하는 중이다.

주성엔지니어링 관계자는 "올해 2·4분기 이후 원자층증착장비 등 반도체 장비 수주와 함께 납품 물량이 꾸준히 늘어나면서 매 분기 실적 개선 흐름이 이어진다"며 "올해 4·4분기에도 긍정적인 실적 흐름이 예상된다"고 말했다.

파크시스템스 역시 호실적을 내놨다. 파크시스템스는 올해 3·4분기 매출액과 영업이익이 각각 전년 동기보다 28%, 60% 늘어난 414억원, 87억원이었다. 누적 매출액과 영업이익 역시 전년 동기보다 각각 12%, 24% 증가한 1117억원, 220억원이었다.

파크시스템스는 사물을 나노미터(㎚, 10억분의 1m) 단위로 정밀하게 측정할 수 있는 원자현미경 사업에 주력한다. 광학현미경과 전자현미경 배율은 각각 수천배와 수십만배인데 반해, 원자현미경은 수천만배에 달한다.

특히 원자현미경은 반도체 회로선폭이 ㎚ 단위로 미세화하면서 국내외 유수 반도체 기업들 사이에서 반도체 검사를 위해 도입이 활발히 이뤄지는 추세다. 이런 이유로 파크시스템스는 지난해 반도체 경기 침체에도 불구하고 매출액 1453억원을 기록, 사상 최대 실적을 갈아 치우기도 했다.

이렇듯 반도체 장비기업들이 올해 3·4분기 기록적인 실적을 낸 것은 최근 반도체 시장이 호황에 진입하고 이에 따라 전방산업 대기업들이 설비 투자를 늘리고 있기 때문으로 풀이된다.

실제로 시장조사기관 SEMI는 올해 세계 반도체 장비 시장이 전년 1063억달러(148조9369만원) 보다 2.5% 증가한 1090억달러(152조6981만원)로 예상했다. 특히 내년에는 올해보다 17.4% 늘어난 1280억달러(179조3152만원) 규모로 사상 최대를 기록할 전망이다.

업계 관계자는 "최근 AI 반도체 수요 증가와 함께 여기에 들어가는 HBM 생산량 역시 빠르게 늘어나면서 시스템반도체, 메모리반도체 시장 모두 호조를 보인다"며 "이에 따라 반도체 장비기업들이 전방산업 투자 증가에 따른 낙수효과를 보는 상황"이라고 말했다.

[e-mail] 강경래 기자